人類對(duì)“精密”的理解是一個(gè)歷史的發(fā)展過(guò)程。隨著科學(xué)與技術(shù)的進(jìn)步和工業(yè)化的深入，20世紀(jì)之后的工業(yè)技術(shù)中對(duì)“精密”的理解開(kāi)始量化，與相關(guān)測(cè)量與控制中的精度要求毫米、微米、納米等聯(lián)系起來(lái)。目前，通常將加工工藝中精度達(dá)到微米級(jí)的裝備稱為精密裝備，達(dá)到微米級(jí)甚至納米級(jí)以上要求的裝備稱為超精密裝備。

超精密裝備是當(dāng)今先進(jìn)制造的基礎(chǔ)。何為先進(jìn)制造？其中一個(gè)最直接、也是最根本的判斷就是制造流程或工藝與超精密裝備密切相關(guān)，或使用超精密裝備進(jìn)行加工制造，或需要超精密裝備生產(chǎn)出的元器件提供支撐。盡管大量生產(chǎn)制造領(lǐng)域中的工藝要求不直接涉及“超精密”，但今天所有先進(jìn)制造裝備中的加工、控制、檢測(cè)和自動(dòng)化、數(shù)字化、智能化都需要大量超精密裝備才能批量生產(chǎn)制造出來(lái)的元器件，如集成電路芯片和傳感器。沒(méi)有超精密裝備，先進(jìn)制造就是一句空話。

超精密裝備是若干高技術(shù)產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵組成部分，例如，集成電路（微電子）產(chǎn)業(yè)、顯示產(chǎn)業(yè)、航空航天產(chǎn)業(yè)、儀器儀表產(chǎn)業(yè)、高端機(jī)床產(chǎn)業(yè)等。以集成電路產(chǎn)業(yè)為例，其主要加工工藝流程中的裝備（有數(shù)百種）都是超精密裝備。這些產(chǎn)業(yè)中超精密裝備的水平對(duì)該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展有決定性影響。

超精密裝備也是人類科學(xué)、技術(shù)和工程經(jīng)驗(yàn)長(zhǎng)期發(fā)展積累的結(jié)果，更是現(xiàn)代科學(xué)、技術(shù)和工程實(shí)踐成果的結(jié)晶。特別是機(jī)械工程、光學(xué)與光電子學(xué)、自動(dòng)控制（人工智能）和材料科學(xué)與技術(shù)，當(dāng)前任何一臺(tái)超精密裝備的研發(fā)與生產(chǎn)都至少需要上述4個(gè)學(xué)科的先進(jìn)技術(shù)成果提供支撐。不僅如此，超精密裝備的發(fā)展還是一個(gè)不斷迭代進(jìn)步的歷史過(guò)程，需求牽引、科技進(jìn)步，以及工程師和能工巧匠的關(guān)鍵技能（know-how）積累缺一不可。正因?yàn)橛羞@些特點(diǎn)，超精密裝備產(chǎn)業(yè)基本上被美國(guó)、日本、歐洲等少數(shù)發(fā)達(dá)國(guó)家和地區(qū)的少數(shù)企業(yè)所壟斷。

中國(guó)已經(jīng)是全球第一工業(yè)制造大國(guó)，但還不是制造強(qiáng)國(guó)。之所以不是制造強(qiáng)國(guó)，最重要的原因就是超精密裝備產(chǎn)業(yè)還比較弱小，造成相關(guān)產(chǎn)業(yè)受制于人。在以美國(guó)為首的發(fā)達(dá)國(guó)家對(duì)我國(guó)實(shí)施技術(shù)圍堵和封鎖的背景下，所謂“卡脖子”問(wèn)題的核心正是一系列超精密裝備，以及與之相關(guān)的關(guān)鍵零部件、元器件和基礎(chǔ)材料。如何使我國(guó)的超精密裝備產(chǎn)業(yè)能夠在“十五五”時(shí)期有長(zhǎng)足進(jìn)步和發(fā)展，爭(zhēng)取在若干關(guān)鍵點(diǎn)上有突破，顯然是我國(guó)工業(yè)界和科技界的重要任務(wù)。

筆者邀請(qǐng)了一批業(yè)內(nèi)專家就各自領(lǐng)域?qū)Τ苎b備的需求、研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展、存在的問(wèn)題及下一步工作的建議撰文論述。這些專家都曾是相關(guān)國(guó)家科技重大專項(xiàng)一線攻關(guān)的領(lǐng)軍者，有切身體會(huì)和深入思考。由于超精密裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展特別需要長(zhǎng)期資本和耐心資本的支持，筆者還邀請(qǐng)了一位對(duì)相關(guān)問(wèn)題有深入研究的經(jīng)濟(jì)學(xué)家撰文專題討論。

現(xiàn)狀與問(wèn)題

新中國(guó)成立以來(lái)，中國(guó)共產(chǎn)黨領(lǐng)導(dǎo)下的中國(guó)人民經(jīng)過(guò)幾十年的艱苦奮斗，到2010年中國(guó)成為擁有全部工業(yè)門類的第一制造業(yè)大國(guó)。第一工業(yè)制造大國(guó)支撐了中國(guó)這個(gè)人口大國(guó)實(shí)現(xiàn)“小康”目標(biāo)；也帶動(dòng)了中國(guó)的裝備產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展。就一般裝備而言，中國(guó)的裝備產(chǎn)業(yè)和制造能力已是世界上最大的。特別是黨的十八大之后，以習(xí)近平同志為核心的黨中央明確提出了科技和產(chǎn)業(yè)發(fā)展要自立自強(qiáng)的一系列大政方針，今天中國(guó)的制造業(yè)占比已超過(guò)全球的30%，被公認(rèn)為產(chǎn)業(yè)升級(jí)最成功的國(guó)家之一。中國(guó)龐大的制造業(yè)能力和高速發(fā)展勢(shì)頭還引起了傳統(tǒng)制造強(qiáng)國(guó)的發(fā)達(dá)國(guó)家的恐慌，成為近年來(lái)國(guó)際環(huán)境變化的重要原因之一。

在看到成績(jī)、堅(jiān)定信心的同時(shí)，我們也深刻體會(huì)到從制造業(yè)大國(guó)走向制造業(yè)強(qiáng)國(guó)的歷史進(jìn)程中面臨的問(wèn)題。其中最大的問(wèn)題之一就是超精密裝備，這里不僅有科學(xué)、技術(shù)和工程經(jīng)驗(yàn)問(wèn)題，也有組織管理問(wèn)題。例如，今天的現(xiàn)代工業(yè)有三大基礎(chǔ)：能源、材料和芯片（集成電路）。就產(chǎn)業(yè)能力和水平而言，目前我國(guó)差距比較大的是芯片。在芯片產(chǎn)業(yè)中最缺的就是核心裝備，如光刻機(jī)。光刻機(jī)和芯片產(chǎn)業(yè)中的許多核心裝備都是超精密裝備的典型代表。在很多與先進(jìn)制造相關(guān)的產(chǎn)業(yè)中都有類似問(wèn)題。怎樣才能造出、造好（包括批量生產(chǎn)）這類超精密裝備，進(jìn)而發(fā)展出中國(guó)強(qiáng)大的超精密裝備產(chǎn)業(yè)？“十一五”以來(lái)，特別是2008年第1批國(guó)家科技重大專項(xiàng)啟動(dòng)之后，積累了很多經(jīng)驗(yàn)，也暴露出不少問(wèn)題。

制造業(yè)的全球布局與4類企業(yè)、3支技術(shù)隊(duì)伍和“演兵場(chǎng)”

隨著科技進(jìn)步、生產(chǎn)效率的提高和資本對(duì)更多利潤(rùn)的追逐，制造業(yè)企業(yè)逐步按專業(yè)分工發(fā)展成為四大類。第1類是生產(chǎn)制成品的企業(yè)，面向終端消費(fèi)者；第2類是生產(chǎn)能源、材料和零部件的企業(yè)；第3類是生產(chǎn)工具和裝備的企業(yè)；第4類是生產(chǎn)高端裝備和特殊材料與工具的企業(yè)，其中超精密是高端裝備的重要部分。這種分工是歷史趨勢(shì)下企業(yè)逐步發(fā)展而形成的。二戰(zhàn)之后，伴隨著全球化進(jìn)程，這種分工還很快跨出國(guó)門。時(shí)至今日，第1類、第2類企業(yè)已大量分布于發(fā)展中國(guó)家；第3類企業(yè)除中國(guó)外，只有俄羅斯還殘存一部分；第4類企業(yè)則幾乎全部集中在發(fā)達(dá)國(guó)家。本文所討論的超精密裝備，涉及的主要就是第4類企業(yè)。

從產(chǎn)業(yè)規(guī)模、企業(yè)數(shù)量和就業(yè)人數(shù)上看，第1、2類企業(yè)是工業(yè)制造業(yè)的主體，而第3、4類企業(yè)則需要較多的技術(shù)積累與支撐，尤其第4類企業(yè)則更是有能力集成相關(guān)學(xué)科與技術(shù)發(fā)展的最新成果。這種全球化條件下的產(chǎn)業(yè)分工和技術(shù)分布其實(shí)也決定了利潤(rùn)分配，第4類企業(yè)雖然數(shù)量少、規(guī)模也不大，但其產(chǎn)品附加值高，利潤(rùn)率也要比第1、2、3類企業(yè)高很多。這類企業(yè)是政府科技政策的重點(diǎn)支持和保護(hù)對(duì)象，也是產(chǎn)業(yè)和貿(mào)易政策的重點(diǎn)控制對(duì)象。

進(jìn)一步分析超精密裝備的研發(fā)、生產(chǎn)制造和不斷迭代進(jìn)步所涉及的技術(shù)隊(duì)伍，依照其主要工作內(nèi)容可分為3類：用裝備的隊(duì)伍。保證充分發(fā)揮現(xiàn)有超精密裝備的能力和效率，同時(shí)指出面臨的問(wèn)題，為其完善和進(jìn)一步發(fā)展指明方向。造裝備的隊(duì)伍。集成已掌握的技術(shù)去研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造和量產(chǎn)裝備。關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)隊(duì)伍。專門從事超精密裝備所涉及的關(guān)鍵基礎(chǔ)技術(shù)研發(fā)，如精密機(jī)械、工程光學(xué)、自動(dòng)控制與人工智能、先進(jìn)材料等。

要造出能用、好用且有競(jìng)爭(zhēng)力的超精密裝備，必須有上述3支隊(duì)伍長(zhǎng)期、穩(wěn)定、密切的合作，而要做到非常不容易。盡管國(guó)別不同，發(fā)達(dá)國(guó)家的第4類企業(yè)都用各自的方式保證了3支隊(duì)伍的合作。我們常講的體制機(jī)制保障，目標(biāo)也是為了促成和保證3支隊(duì)伍的合作。

作為后發(fā)國(guó)家和追趕者，要完善超精密裝備的研發(fā)環(huán)境，還有一項(xiàng)重要的工作是要有“演兵場(chǎng)”（也稱之為“試驗(yàn)線”或“驗(yàn)證線”），其原因基于以下3點(diǎn)事實(shí)：超精密裝備一定是多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)的集成，極其復(fù)雜，不可能一次研發(fā)就達(dá)到實(shí)際使用要求，必須有試驗(yàn)考核和迭代進(jìn)步的機(jī)會(huì)，否則不可能進(jìn)入生產(chǎn)線實(shí)際使用。國(guó)外的第4類企業(yè)是跟著領(lǐng)域開(kāi)拓者的領(lǐng)先企業(yè)一路發(fā)展起來(lái)的，由此積累了大量制造、檢測(cè)、聯(lián)線、試生產(chǎn)和改進(jìn)的關(guān)鍵技能（know-how），這些東西只能在“干中學(xué)”，在不斷的試錯(cuò)和改進(jìn)中進(jìn)步。不補(bǔ)上這一課，無(wú)法得到裝備使用企業(yè)的信任。超精密裝備的考核驗(yàn)證和聯(lián)線調(diào)試需要對(duì)應(yīng)用環(huán)境進(jìn)行模擬和再現(xiàn)，這在實(shí)驗(yàn)室中一般無(wú)法完成；裝備研發(fā)生產(chǎn)企業(yè)一般也不具備這樣的條件，要建設(shè)并維持這樣的條件遠(yuǎn)超裝備研發(fā)生產(chǎn)企業(yè)的能力。這3點(diǎn)是眾多裝備研發(fā)生產(chǎn)企業(yè)不敢進(jìn)入超精密裝備領(lǐng)域的根本原因。同時(shí)，也是相關(guān)的基礎(chǔ)技術(shù)研究（第3支隊(duì)伍）無(wú)法持續(xù)與深入的根本原因。由此造成的阻隔是一個(gè)惡性循環(huán)，不破除這個(gè)惡性循環(huán)，發(fā)展超精密裝備產(chǎn)業(yè)就是一句空話。

內(nèi)外環(huán)境變化與影響

當(dāng)今世界是一個(gè)地緣政治不確定性上升、國(guó)家與民族間沖突激化的世界；是一個(gè)財(cái)政赤字高企，貿(mào)易摩擦不斷的世界；是一些主要國(guó)家貧富差別擴(kuò)大、內(nèi)部矛盾加劇、不穩(wěn)定因素增長(zhǎng)的世界。二戰(zhàn)以來(lái)，全球化格局已經(jīng)發(fā)生重大變化，而超精密裝備作為科技和產(chǎn)業(yè)全球化的直接產(chǎn)物，其研發(fā)、生產(chǎn)和應(yīng)用都受到了國(guó)際環(huán)境變化的重大影響。

改革開(kāi)放40多年來(lái)，中國(guó)制造業(yè)能夠不斷擴(kuò)大規(guī)模，并且不斷向中高端產(chǎn)品和產(chǎn)業(yè)進(jìn)軍的一個(gè)重要原因，就是部分國(guó)外的先進(jìn)技術(shù)、原材料、零部件、裝備，甚至生產(chǎn)線能夠進(jìn)入中國(guó)。超精密裝備的一些相關(guān)領(lǐng)域也是如此。2010年后，國(guó)際環(huán)境開(kāi)始變化，2017年特朗普就任美國(guó)總統(tǒng)之后對(duì)華發(fā)動(dòng)“貿(mào)易戰(zhàn)”“科技戰(zhàn)”使變化加劇。時(shí)至今日，在美國(guó)帶領(lǐng)下發(fā)達(dá)國(guó)家都在試圖“封鎖”和“圍堵”中國(guó)。那種主要生產(chǎn)設(shè)備全部從發(fā)達(dá)國(guó)家的第4類企業(yè)買進(jìn)，利用中國(guó)的市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)和配套優(yōu)勢(shì)迅速實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)并不斷擴(kuò)大規(guī)模，如中國(guó)的LED照明產(chǎn)業(yè)、中國(guó)的LCD顯示產(chǎn)業(yè)等，使終端產(chǎn)品橫掃世界的大環(huán)境已不復(fù)存在。西方國(guó)家在用于加工制造的超精密裝備整機(jī)的出口管制中，一直對(duì)中國(guó)出口有明文限制，先有“巴黎統(tǒng)籌委員會(huì)”（簡(jiǎn)稱“巴統(tǒng)”），后有《關(guān)于常規(guī)武器和軍民兩用物品和技術(shù)出口管制的瓦森納協(xié)定》（以下簡(jiǎn)稱《瓦森納協(xié)定》），而且越來(lái)越嚴(yán)酷，范圍也越來(lái)越大；涉及的關(guān)鍵材料、零部件和元器件也越來(lái)越多。這種“封鎖”和“圍堵”近年來(lái)還擴(kuò)大到了技術(shù)交流和人才培養(yǎng)，個(gè)別國(guó)家的政府明令不許科技人員來(lái)中國(guó)參加學(xué)術(shù)活動(dòng)和產(chǎn)品展示，甚至不許接待中國(guó)科技人員交流訪問(wèn)。

國(guó)際環(huán)境變化極大地提高了中國(guó)產(chǎn)業(yè)隊(duì)伍和科技隊(duì)伍的危機(jī)意識(shí)，更證明了黨中央提出高水平科技自立自強(qiáng)的英明與正確。在舉國(guó)上下的共同努力下，我國(guó)的部分超精密裝備產(chǎn)業(yè)開(kāi)始加速成長(zhǎng)，并且保持著十分強(qiáng)勁的發(fā)展勢(shì)頭。例如，根據(jù)中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟的統(tǒng)計(jì)，2008—2023年的15年間，我國(guó)集成電路國(guó)產(chǎn)裝備和材料的銷售額分別增長(zhǎng)了41.6倍和9.64倍，達(dá)到707億元和704億元，2024年估計(jì)銷售額都超過(guò)了1 000億元。由于美國(guó)的對(duì)華“科技戰(zhàn)”，自2018年以后中國(guó)的國(guó)產(chǎn)集成電路裝備零部件產(chǎn)業(yè)開(kāi)始迅速增長(zhǎng)，到2023年的年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)到65%，估計(jì)2024年的銷售收入已超過(guò)300億元。

這些結(jié)果證明了超精密裝備產(chǎn)業(yè)的2個(gè)突出特點(diǎn)。典型的應(yīng)用牽引，沒(méi)有應(yīng)用需求，或者應(yīng)用需求不在自己手里（都給了發(fā)達(dá)國(guó)家的第4類企業(yè)），中國(guó)的超精密裝備產(chǎn)業(yè)不可能發(fā)展起來(lái)；超精密裝備產(chǎn)業(yè)是典型的綜合實(shí)力比拼，是多產(chǎn)業(yè)、多技術(shù)、多學(xué)科的綜合，必須下大力氣把各方面的力量組織起來(lái)，共同奮斗才能有好結(jié)果已成為大家的共識(shí)。

在看到發(fā)展成績(jī)、堅(jiān)定奮斗信心的同時(shí)，更要看到差距和不足。以美國(guó)為首的發(fā)達(dá)國(guó)家對(duì)中國(guó)的“封鎖”和“打壓”不可能在短期內(nèi)結(jié)束。盡管不同時(shí)期、不同國(guó)家和不同領(lǐng)域的對(duì)華關(guān)系會(huì)有變化，而良好的外部環(huán)境最根本的還是要靠自己的實(shí)力去爭(zhēng)取和創(chuàng)造。我國(guó)的超精密裝備產(chǎn)業(yè)和科技界對(duì)存在的問(wèn)題已有越來(lái)越清醒的認(rèn)識(shí)。這些問(wèn)題集中體現(xiàn)在5個(gè)方面。

國(guó)產(chǎn)超精密裝備遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足相關(guān)產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)制造的現(xiàn)實(shí)需求。例如，2018年以后，中國(guó)每年進(jìn)口的集成電路芯片都超過(guò)2 000億美元，特別是優(yōu)于28 nm的所謂先進(jìn)制程芯片大部分要到國(guó)外加工；航空航天領(lǐng)域的許多超精密加工也還強(qiáng)烈依賴進(jìn)口裝備。在超精密裝備相關(guān)的許多產(chǎn)業(yè)中，如集成電路、高端機(jī)床和高端儀器儀表等，中國(guó)還不是制造大國(guó)，離制造強(qiáng)國(guó)則差得更遠(yuǎn)。發(fā)達(dá)國(guó)家對(duì)中國(guó)在超精密裝備方面的限制嚴(yán)重影響著我國(guó)的經(jīng)濟(jì)發(fā)展和國(guó)家安全。

如果按照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)來(lái)衡量，中國(guó)在超精密裝備領(lǐng)域還沒(méi)有能夠集成最新技術(shù)發(fā)展成果的第4類企業(yè)。盡管近年來(lái)我國(guó)一些企業(yè)也生產(chǎn)出超精密裝備并進(jìn)入生產(chǎn)線，但這些企業(yè)在技術(shù)水平、創(chuàng)新能力、研發(fā)投入、市場(chǎng)占有率等諸多方面與發(fā)達(dá)國(guó)家的對(duì)標(biāo)企業(yè)還有巨大差距。如何培植中國(guó)自己的第4類企業(yè)，還有大量工作要做，需要長(zhǎng)期艱苦奮斗。

在超精密裝備涉及的諸多領(lǐng)域中，如何讓使用裝備、造裝備和關(guān)鍵基礎(chǔ)技術(shù)研發(fā)這3支隊(duì)伍長(zhǎng)期、穩(wěn)定地密切合作，還缺乏有效的體制機(jī)制保證。產(chǎn)、學(xué)、研、用結(jié)合“喊”了幾十年，中央政府和地方設(shè)立了很多相關(guān)項(xiàng)目，投入了大量資源，也有若干成功的案例，但在超精密裝備領(lǐng)域總體上看，現(xiàn)實(shí)和潛在的“卡脖子”問(wèn)題還大量存在。

相關(guān)基礎(chǔ)科學(xué)研究和技術(shù)積累方面還有明顯差距。作為后來(lái)者和追趕者，我國(guó)的工程制造經(jīng)驗(yàn)往往只有幾年、十幾年，積累就更不足。研發(fā)隊(duì)伍和后備軍雖然體量不小，但隊(duì)伍分散，大量研發(fā)是低水平重復(fù)，裝備水平和實(shí)驗(yàn)條件不配套，難以承擔(dān)高水平的系統(tǒng)性研發(fā)工作。

在技術(shù)路線和發(fā)展方式上迄今為止還幾乎全是嚴(yán)重的“路徑依賴”。體現(xiàn)為沿著發(fā)達(dá)國(guó)家走過(guò)的途徑走，缺啥補(bǔ)啥，進(jìn)口替代，這種方式造成的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)工作思維方式很難改變。

問(wèn)題產(chǎn)生的歷史與現(xiàn)實(shí)原因分析

上述問(wèn)題的產(chǎn)生有其深刻的歷史和現(xiàn)實(shí)原因。作為一個(gè)發(fā)展中國(guó)家，中國(guó)在現(xiàn)代工業(yè)的前兩大基礎(chǔ)（能源和材料）方面總體走到世界前列大約用了60年，而我們?cè)诔苎b備方面有明確遠(yuǎn)大任務(wù)目標(biāo)的攻關(guān)，應(yīng)該說(shuō)是進(jìn)入21世紀(jì)之后才真正開(kāi)始，標(biāo)志是2008年啟動(dòng)第1批國(guó)家科技重大專項(xiàng)。中國(guó)在超精密裝備要走到世界前列，還需要幾十年的艱苦奮斗。

對(duì)裝備產(chǎn)業(yè)重視不夠

在承認(rèn)歷史原因的同時(shí)，我們更應(yīng)認(rèn)真反思現(xiàn)實(shí)問(wèn)題。社會(huì)各界對(duì)產(chǎn)業(yè)的關(guān)注與支持通常只集中在直接面對(duì)消費(fèi)者和社會(huì)需求的第1、2類企業(yè)，具體包括工藝改進(jìn)、效率提升、質(zhì)量提高，直至產(chǎn)品和生產(chǎn)過(guò)程的代際跨越。相應(yīng)的裝備需求一般都留給企業(yè)自己去解決，或者認(rèn)為只要給了錢企業(yè)就能夠解決。至于企業(yè)的裝備需求如何與相關(guān)學(xué)科和技術(shù)的發(fā)展成果對(duì)應(yīng)，如何促進(jìn)相關(guān)裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展等問(wèn)題，即便是在分工高度發(fā)展和產(chǎn)業(yè)鏈充分拉長(zhǎng)的今天，這些問(wèn)題也是第1、2類企業(yè)無(wú)法完成的任務(wù)。這種現(xiàn)象常被業(yè)內(nèi)戲稱為“3個(gè)饅頭”——大家都只關(guān)心使人吃飽并感覺(jué)良好的第3個(gè)“饅頭”，但第1、2個(gè)“饅頭”從哪來(lái)無(wú)人過(guò)問(wèn)。政府的研發(fā)、技術(shù)改造等項(xiàng)目無(wú)論是支持規(guī)模還是商業(yè)信貸支持規(guī)模，裝備產(chǎn)業(yè)得到的支持都要小很多。這是裝備產(chǎn)業(yè)中的許多企業(yè)如機(jī)床企業(yè)生存艱難，工程技術(shù)人員收入偏低，難以吸引和留住優(yōu)秀人才的重要原因。

對(duì)裝備產(chǎn)業(yè)的重視不夠也反映在高校和研究機(jī)構(gòu)的學(xué)科建設(shè)、基礎(chǔ)研究、實(shí)驗(yàn)條件及人才培養(yǎng)上。進(jìn)入21世紀(jì)以來(lái)，我國(guó)的科研投入和高等教育投入穩(wěn)步增長(zhǎng)，許多高校和研究機(jī)構(gòu)的研發(fā)工作與裝備水平迅速進(jìn)入世界前列，但相對(duì)而言超精密裝備直接相關(guān)的核心學(xué)科如精密機(jī)械工程、光學(xué)工程、精密加工檢測(cè)等，不僅項(xiàng)目少，實(shí)驗(yàn)條件和裝備的改善也大幅度落后，很難承擔(dān)并完成真正解決實(shí)際問(wèn)題的超精密裝備研發(fā)任務(wù)。我國(guó)還沒(méi)有一個(gè)比較完善的機(jī)床實(shí)驗(yàn)室，能夠?yàn)槌軝C(jī)床提供完整的測(cè)試和驗(yàn)證考核條件；也沒(méi)有集成電路芯片生產(chǎn)裝備和顯示器生產(chǎn)裝備的驗(yàn)證（試驗(yàn)）線，為裝備企業(yè)研發(fā)生產(chǎn)的新裝備提供檢測(cè)、調(diào)試和聯(lián)線的條件。由于缺少必要的研發(fā)項(xiàng)目和實(shí)驗(yàn)條件，大部分培養(yǎng)出的碩士博士沒(méi)有接觸過(guò)實(shí)際的工程任務(wù)，機(jī)械工程畢業(yè)的博士不會(huì)制圖之類的“笑話”屢見(jiàn)不鮮。

普遍的急功近利

為什么裝備產(chǎn)業(yè)得不到重視？最主要原因就是近30年來(lái)全社會(huì)普遍的急功近利思想。裝備產(chǎn)業(yè)的績(jī)效要通過(guò)其他產(chǎn)業(yè)的發(fā)展來(lái)體現(xiàn)，而超精密裝備從任務(wù)的提出到技術(shù)集成、樣機(jī)研發(fā)、迭代驗(yàn)證，再到最終成為實(shí)用、好用的產(chǎn)品更是一個(gè)漫長(zhǎng)的過(guò)程，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)通常的項(xiàng)目支持期限，也超過(guò)所謂的職責(zé)任期。為了得到項(xiàng)目，基層單位往往是“編故事”，講“空話”“大話”，生搬硬套大目標(biāo)，拿到項(xiàng)目后再設(shè)法蒙混過(guò)關(guān)。這種情況下，拼湊成果，如關(guān)鍵元器件用國(guó)外產(chǎn)品，修改指標(biāo)，甚至弄虛作假的事例時(shí)有發(fā)生?？傮w表現(xiàn)就是項(xiàng)目立了，表面上看內(nèi)容也對(duì)路，但就是解決不了實(shí)際需求問(wèn)題，解決不了根本性問(wèn)題。

急功近利的另一類表現(xiàn)就是對(duì)國(guó)產(chǎn)裝備的不信任，對(duì)國(guó)產(chǎn)超精密裝備更是如此。一些加工制造要求較高的產(chǎn)業(yè)一旦有裝備需求，首選進(jìn)口裝備，除非進(jìn)口受限或者價(jià)格實(shí)在太高，售后服務(wù)跟不上。用不起。我國(guó)高端制造業(yè)真正開(kāi)始下定決心從長(zhǎng)計(jì)議，為國(guó)產(chǎn)超精密裝備打開(kāi)應(yīng)用大門的還是在2017年美國(guó)特朗普政府發(fā)動(dòng)對(duì)華“貿(mào)易戰(zhàn)”和“科技戰(zhàn)”之后。但多年形成的裝備靠進(jìn)口的思維慣性至今依然存在，在基層單位，包括企業(yè)和院校、研究機(jī)構(gòu)，體現(xiàn)為能買進(jìn)口的還是買進(jìn)口的，在政府部門則體現(xiàn)為能買到的就不支持研發(fā)。

缺乏系統(tǒng)的組織管理

一項(xiàng)產(chǎn)業(yè)技術(shù)要能真正用到大規(guī)模生產(chǎn)制造過(guò)程中，即使它的基礎(chǔ)理論問(wèn)題已經(jīng)解決，也還要經(jīng)過(guò)技術(shù)實(shí)現(xiàn)研發(fā)、應(yīng)用研發(fā)、技術(shù)集成研發(fā)（形成裝備），最后才能推進(jìn)到產(chǎn)品生產(chǎn)。發(fā)達(dá)國(guó)家的第4類企業(yè)之所以能在全球市場(chǎng)中站住腳，原因就是他們的技術(shù)利用各自的渠道走完了這幾步。這類企業(yè)大都集中在發(fā)達(dá)國(guó)家，也就意味著走完這幾步目前還只能在發(fā)達(dá)國(guó)家完成并形成鏈條。從體系化和合理分工的角度來(lái)看，應(yīng)該是高校和科研院所做前兩步工作，而后兩步由專業(yè)性更強(qiáng)的大院大所和有實(shí)力的企業(yè)來(lái)做。中國(guó)的許多高校和研究機(jī)構(gòu)也在做前兩步的工作，但除了國(guó)防軍工系統(tǒng)之外還沒(méi)有形成鏈條，沒(méi)有形成完整、穩(wěn)固的體系。新中國(guó)成立之初，我國(guó)學(xué)習(xí)借鑒蘇聯(lián)模式，由工業(yè)領(lǐng)域相關(guān)部委統(tǒng)籌領(lǐng)導(dǎo)，對(duì)所屬高校、科研院所和重點(diǎn)企業(yè)實(shí)施直接管理，其優(yōu)勢(shì)和成功之處也是創(chuàng)造并保證了用裝備、造裝備和基礎(chǔ)技術(shù)研發(fā)的3支隊(duì)伍密切合作。

如今情況已完全不同，以集成電路和顯示產(chǎn)業(yè)為例，第1支隊(duì)伍主要集中在幾家大企業(yè)；第2支隊(duì)伍主要由部委改制院所和海外有過(guò)第4類企業(yè)工作經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)骨干領(lǐng)軍創(chuàng)建；第3支隊(duì)伍主要集中在高校和專門研究機(jī)構(gòu)，如中國(guó)科學(xué)院等。這3支隊(duì)伍往往分處不同地域、不同組織、不同資源渠道，以及不同體制、不同管理機(jī)制之下。常見(jiàn)的是每個(gè)基層單位都力求以我為中心，將其他隊(duì)伍當(dāng)陪襯或“伙計(jì)”，力爭(zhēng)將盡量多的資源拿到自己手里。爭(zhēng)取項(xiàng)目時(shí)都說(shuō)團(tuán)結(jié)奮斗，碰到困難和爭(zhēng)議時(shí)往往攬功推過(guò)，把應(yīng)該共同發(fā)展的“命運(yùn)共同體”當(dāng)作一事一議的短期“利益共同體”。進(jìn)入21世紀(jì)以來(lái)，20多年的發(fā)展歷程使大家深刻體會(huì)到，3支隊(duì)伍各自為戰(zhàn)、單打獨(dú)斗的結(jié)果是誰(shuí)都很難過(guò)，迫切需要探索一條能夠充分發(fā)揮需求優(yōu)勢(shì)和舉國(guó)體制優(yōu)勢(shì)的發(fā)展道路。

超精密裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展缺乏系統(tǒng)組織管理，從另一方面集中反映在攻關(guān)項(xiàng)目中很難把系統(tǒng)工程管理和質(zhì)量管理的要求落到實(shí)處。任何一臺(tái)超精密裝備的研發(fā)生產(chǎn)制造和進(jìn)入實(shí)際應(yīng)用都是一個(gè)復(fù)雜的系統(tǒng)工程；考慮到整個(gè)產(chǎn)業(yè)制造鏈就更是一個(gè)大系統(tǒng)，需要研究、部署、探索和解決的問(wèn)題更多，工作量巨大。僅憑政府產(chǎn)業(yè)和科技管理部門的少數(shù)人和短期聘用專家是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的，根本無(wú)法保證把基本要求落到實(shí)處。航空航天和國(guó)防軍工部門的“業(yè)主制”“兩總制”、質(zhì)量保證體系等經(jīng)驗(yàn)值得超精密裝備產(chǎn)業(yè)認(rèn)真學(xué)習(xí)借鑒，沒(méi)有類似的組織構(gòu)架、隊(duì)伍配備和資源、制度保證，文實(shí)不符、敷衍搪塞、弄虛作假，最終無(wú)法交賬等組織管理問(wèn)題不僅難以防治，未來(lái)還會(huì)反復(fù)出現(xiàn)。

評(píng)價(jià)體系問(wèn)題

人們對(duì)評(píng)價(jià)體系的問(wèn)題議論很多，詬病也比較多。在超精密裝備產(chǎn)業(yè)及相關(guān)主要技術(shù)領(lǐng)域，這些反映主要集中在3個(gè)方面。導(dǎo)向偏差。評(píng)價(jià)的結(jié)果往往既不是問(wèn)題導(dǎo)向——問(wèn)題實(shí)際上沒(méi)有得到解決，至少是沒(méi)有很好地解決；也不是目標(biāo)導(dǎo)向——確定的目標(biāo)沒(méi)有實(shí)現(xiàn)。評(píng)價(jià)所依據(jù)的所謂階段性成果——如文章、專利、獲獎(jiǎng)等離真正解決問(wèn)題、實(shí)現(xiàn)目標(biāo)還差得很遠(yuǎn)，而收獲者卻得到了很多，包括“帽子”“位子”，也包括繼續(xù)得到資源和配置資源的權(quán)利。不負(fù)責(zé)任。評(píng)價(jià)體系中往往只有肯定的一面，只能表?yè)P(yáng)，不能批評(píng)，結(jié)果是互相吹捧，大話滿天，解決不了實(shí)際問(wèn)題，也沒(méi)有人真正承擔(dān)責(zé)任。過(guò)于突出個(gè)人，突出當(dāng)下，嚴(yán)重影響合作，影響傳承。這些問(wèn)題對(duì)于特別需要長(zhǎng)期艱苦努力攻關(guān)和團(tuán)結(jié)奮斗的超精密裝備產(chǎn)業(yè)及相關(guān)技術(shù)發(fā)展尤其有破壞作用。

西方發(fā)展路徑的影響

市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)也是一把“雙刃劍”。大約從20世紀(jì)90年代起，發(fā)達(dá)國(guó)家的制造裝備（也包括少數(shù)超精密裝備）開(kāi)始進(jìn)入中國(guó)，結(jié)果是在大幅度提升我國(guó)制造業(yè)水平和能力的同時(shí)，對(duì)本土的裝備產(chǎn)業(yè)和相關(guān)技術(shù)研發(fā)是一種巨大的沖擊——你研發(fā)的東西還不如能買到的好，還有必要研發(fā)嗎？市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)就是要讓企業(yè)和研發(fā)自生自滅，適者生存。筆者這一代人對(duì)當(dāng)年的往事記憶猶新。只要市場(chǎng)上能買到的政府就不該管，不該有政府支持的研發(fā)項(xiàng)目——自1985年科技體制改革到美國(guó)特朗普政府第1次發(fā)動(dòng)對(duì)華“貿(mào)易戰(zhàn)”“科技戰(zhàn)”，這種思想影響了我們大約30年。類似的事情在其他國(guó)家也發(fā)生過(guò)。筆者在科學(xué)技術(shù)部工作時(shí)曾與當(dāng)時(shí)的俄羅斯教育與科學(xué)部副部長(zhǎng)（曾任蘇聯(lián)科學(xué)院微電子技術(shù)研究所所長(zhǎng)）多次討論過(guò)，他告訴我截至20世紀(jì)80年代初，華約國(guó)家的集成電路芯片總產(chǎn)量還大于北約國(guó)家，而蘇聯(lián)解體的20年后，蘇聯(lián)國(guó)家的集成電路產(chǎn)業(yè)已基本不復(fù)存在。這就是所謂的“贏家通吃”——市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)條件下高技術(shù)研發(fā)和高技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展過(guò)程中的常見(jiàn)現(xiàn)象。

實(shí)際上發(fā)達(dá)國(guó)家的超精密裝備產(chǎn)業(yè)及相關(guān)技術(shù)也都是在各自政府的組織引導(dǎo)和支持下發(fā)展起來(lái)的。以筆者相對(duì)比較熟悉，也是超精密裝備的著名企業(yè)荷蘭阿斯麥公司（ASML）、日本尼康公司（Nikon）、日本佳能公司（Canon）等為例，這些企業(yè)都曾直接或間接地得到過(guò)大量的政府項(xiàng)目和政策支持。特別具有諷刺意味的是，作為超精密裝備的重要組成部分，我國(guó)集成電路裝備產(chǎn)業(yè)近年來(lái)的快速發(fā)展恰恰不是因?yàn)槭袌?chǎng)經(jīng)濟(jì)，是美國(guó)政府用反市場(chǎng)的政治手段給中國(guó)廠商讓出了空間，而中國(guó)也用我們的政治體制優(yōu)勢(shì)集中力量抓住了機(jī)遇。

事實(shí)一次又一次地教育了我們。規(guī)則都是人定的，發(fā)展道路都是結(jié)合各自國(guó)情探索出來(lái)的，切不可迷信和全套照搬西方的那一套。要說(shuō)不遵守規(guī)則，資本主義國(guó)家的代表美國(guó)最不遵守規(guī)則。

下一步工作的建議

要更加重視超精密裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展

要志存高遠(yuǎn)，以培養(yǎng)出我國(guó)走到世界前列的第4類企業(yè)為大目標(biāo)，長(zhǎng)期關(guān)注并堅(jiān)定支持中國(guó)超精密裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。在設(shè)定節(jié)點(diǎn)目標(biāo)和階段性任務(wù)的基礎(chǔ)上，總體任務(wù)的支持期限建議能保證10年以上。

應(yīng)該充分保證發(fā)揮好我們的體制優(yōu)勢(shì)和需求優(yōu)勢(shì)。在當(dāng)下全球環(huán)境，尤其是在原有的產(chǎn)業(yè)和科技全球化環(huán)境發(fā)生劇烈變化的情況下，能夠?qū)Τ苎b備產(chǎn)業(yè)有龐大持久需求和能夠集中優(yōu)勢(shì)資源長(zhǎng)期攻關(guān)以解決相關(guān)系列問(wèn)題的只有中國(guó)。不能從國(guó)際市場(chǎng)上得到的要支持，暫時(shí)能得到但隨時(shí)有“斷供”危機(jī)的要支持，當(dāng)下還沒(méi)有“斷供”危機(jī)的也要支持。只有這樣才能徹底解決“卡脖子”問(wèn)題，真正做到自立自強(qiáng)。

為此，還應(yīng)該集中多方資源，如長(zhǎng)期特別國(guó)債，建設(shè)一批高水平的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證平臺(tái)和演兵場(chǎng)（試驗(yàn)線、驗(yàn)證線）。使國(guó)內(nèi)的用戶企業(yè)能夠放心使用國(guó)產(chǎn)超精密裝備，幫助他們形成全球競(jìng)爭(zhēng)力；也促使眾多的裝備企業(yè)提高水平和能力，向超精密裝備進(jìn)軍。

要更加強(qiáng)調(diào)發(fā)展超精密裝備相關(guān)的體制機(jī)制創(chuàng)新

將促使3支隊(duì)伍的長(zhǎng)期、穩(wěn)定、密切合作當(dāng)作推動(dòng)超精密裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重中之重。企業(yè)是技術(shù)創(chuàng)新和發(fā)展的主體沒(méi)有錯(cuò)，但超精密裝備集成的技術(shù)都是新技術(shù)、新成果，中國(guó)的裝備企業(yè)發(fā)展時(shí)間短，集成資源的能力與國(guó)外大企業(yè)相比還差得很遠(yuǎn)，如果沒(méi)有政府的大力組織和支持，把用裝備的和做基礎(chǔ)技術(shù)研發(fā)的隊(duì)伍統(tǒng)一起來(lái)形成攻關(guān)力量，其發(fā)展也會(huì)沒(méi)有保證，至少也是步履非常艱難的。

鼓勵(lì)長(zhǎng)期資本、耐心資本。近年來(lái)我國(guó)對(duì)長(zhǎng)期資本、耐心資本支持科技和產(chǎn)業(yè)發(fā)展的呼聲日益高漲。超精密裝備產(chǎn)業(yè)和相關(guān)技術(shù)的攻關(guān)時(shí)間長(zhǎng)，不大可能短時(shí)間內(nèi)見(jiàn)到經(jīng)濟(jì)回報(bào)，特別需要長(zhǎng)期資本、耐心資本的支持。而且特別適合于“投早投小”，使科技人員能夠心無(wú)旁騖地堅(jiān)持攻關(guān)。這種隨研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展逐步放大力度的支持還特別有助于3支隊(duì)伍間增強(qiáng)信任感，促使大家能夠長(zhǎng)期堅(jiān)持共同奮斗。

對(duì)超精密裝備產(chǎn)業(yè)和相關(guān)技術(shù)發(fā)展的評(píng)價(jià)應(yīng)特別強(qiáng)調(diào)問(wèn)題導(dǎo)向和目標(biāo)導(dǎo)向。在項(xiàng)目和政策支持上應(yīng)杜絕“編故事”“講大話”；必須強(qiáng)調(diào)實(shí)事求是，強(qiáng)調(diào)一步一個(gè)腳印地攻難關(guān)，對(duì)違反者應(yīng)該有罰則。

進(jìn)一步加強(qiáng)組織管理

建議在每一個(gè)超精密裝備產(chǎn)業(yè)的研發(fā)、生產(chǎn)和相關(guān)技術(shù)的支持項(xiàng)目中明確業(yè)主，落實(shí)責(zé)任制。要特別強(qiáng)調(diào)任務(wù)的系統(tǒng)性、關(guān)聯(lián)性和工作節(jié)點(diǎn)、管理到位。由于領(lǐng)域和任務(wù)的特殊性，一般的科技項(xiàng)目管理不適應(yīng)超精密裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的管理需求。

避免重復(fù)投資和重復(fù)建設(shè)。近年來(lái)超精密裝備產(chǎn)業(yè)和相關(guān)技術(shù)成為關(guān)注熱點(diǎn)，人們議論頗多，網(wǎng)上也常有炒作，容易成為吸引資源投入的故事題材。但真正有條件發(fā)展的地點(diǎn)是不多的，尤其是人才資源、學(xué)科技術(shù)積累和裝備條件，強(qiáng)行上馬的結(jié)果往往是倉(cāng)促下馬，很難維持。

集中力量攻難關(guān)。在超精密裝備產(chǎn)業(yè)和相關(guān)技術(shù)方面近年來(lái)我國(guó)進(jìn)步很快，有些裝備已經(jīng)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化并進(jìn)入生產(chǎn)線實(shí)際應(yīng)用。應(yīng)該保護(hù)相關(guān)企業(yè)，給他們以更大的發(fā)展空間；不要再重復(fù)研發(fā)、重復(fù)生產(chǎn)，形成國(guó)內(nèi)企業(yè)的新“內(nèi)卷”，尤其要避免挖人挖技術(shù)的相互拆臺(tái)。事實(shí)上我們還有許多難關(guān)難點(diǎn)沒(méi)有攻克，政府和社會(huì)資源的支持更應(yīng)該集中在這些難關(guān)難點(diǎn)上。

最后，筆者再次強(qiáng)調(diào)，當(dāng)前世界百年未有之大變局給中國(guó)超精密裝備產(chǎn)業(yè)及相關(guān)技術(shù)帶來(lái)的機(jī)遇遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于困難和挑戰(zhàn)?！皥?jiān)冰”已經(jīng)打破，“航道”已經(jīng)開(kāi)啟，在以習(xí)近平同志為核心的黨中央堅(jiān)強(qiáng)領(lǐng)導(dǎo)下，我們一定能夠不斷總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，克服困難，一步一步地攀上超精密裝備產(chǎn)業(yè)這個(gè)中國(guó)成為制造業(yè)強(qiáng)國(guó)征途上的高峰，實(shí)現(xiàn)建設(shè)社會(huì)主義現(xiàn)代化強(qiáng)國(guó)的宏偉藍(lán)圖。

【作者：曹健林，季華實(shí)驗(yàn)室（先進(jìn)制造科學(xué)與技術(shù)廣東省實(shí)驗(yàn)室）；《中國(guó)科學(xué)院院刊》供稿】